压电偏摆/旋转台θx, θy, Z轴 P51
详细信息
| | 品牌：芯明天 | | 型号：θx, θy, Z轴 P51 | | 加工定制：是 | |
P51系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
超薄的设计适用于显微应用
P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应用设计的，台体非常薄，厚度仅为20mm，非常易于集成到高精度显微镜中。
仿真分析
通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上*高的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许极高精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。
超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高
P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达110μm。
P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构，采用有限元分析进行优化，具有超高的刚度以及导向精度。
可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈，确保其具有极佳的运动控制精度，直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。
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